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半导体制造设备用零部件
陶瓷广泛应用于线宽的精细化和多层化在不断前进中的半导体制造设备中。轻质、高刚性的陶瓷越来越多地应用于光刻设备，陶瓷的耐等离子体性、低颗粒含量、耐热性和低介电损耗等优点，也越来越多地应用于蚀刻和成膜设备。晶圆传送臂也采用精度高、机械性能优异的陶瓷。另外，蓝宝石还用于需要透光性的窗口片、晶圆承载板、晶圆接触升降销、等离子体导入管等。
产品实例
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蓝宝石衬底我们可以处理更薄和更大的基板，以及使用激光可以对应复杂、精细和高精度的加工。- 耐热性
- 耐等离子性
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蓝宝石管这种蓝宝石管适用于需要耐腐蚀性和透光性的场合。- 光学透明度
- 耐等离子性
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蓝宝石棒蓝宝石棒具有高强度、高耐热性、高耐腐蚀性。兼容抛光加工/台阶加工/金属配件组装。- 高纯度
- 耐热性
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防静电镊子防静电镊子专为处理对静电损坏敏感的元件的各种操作人员而开发。- 半导体
- 化学稳定性
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散热结构陶瓷基板由于其高刚性和耐磨性，即使在长期使用后也能保持良好的表面状况。- 形状自由度
- 高温耐久性
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低热膨胀陶瓷镜高刚性使其更薄、更轻。- 高刚度
- 低热膨胀
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蓝宝石灯管该产品利用了蓝宝石的优异特性（透光性+耐热性+绝缘性）。- 耐热性
- 绝缘性
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搬运手臂可制造真空吸附式及各种涂层。- 高温耐久性
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半导体制造设备用陶瓷加热器高纯度、优异的耐等离子性和热均匀性。- 高导热率
- 耐等离子性
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静电吸盘它纯度高，具有出色的耐等离子体性和附着/分离响应，并且兼容较宽的温度范围。- 耐等离子性
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真空吸盘、载物台一体镜、载物台零件搬运部件输送部件纯度高，耐腐蚀性优异。根据使用条件，可以形成各种表面形状。- 高刚度
- 高精准度
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圆顶和腔其高纯度和出色的耐等离子性有助于延长部件的使用寿命。- 电气均匀性
- 耐等离子性
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LCD制造设备用零部件支持更高分辨率液晶面板的高刚性陶瓷组件- 高刚度
- 低反射
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抛光布修整盘具有优良的耐磨性，可根据条件加工成微小的突起。- 耐久性
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耐等离子材料其高纯度和出色的耐等离子性有助于延长部件的使用寿命。- 耐等离子性
- 低介电损耗
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碳化硅抛光盘追求更高导热率和更低热膨胀的抛光盘。- 高杨氏模量
- 低热膨胀
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抛光盘由于其高刚性和耐磨性，即使在长期使用后也能保持良好的表面状况。- 高硬度
- 耐磨性
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蓝宝石搬运手臂由于其耐等离子性和耐热性，被用于各种半导体制造设备部件。- 耐热性
- 耐等离子性
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腔体蓝宝石视窗由于其耐等离子性和耐热性，被用于各种半导体制造设备部件。- 耐热性
- 耐等离子性
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蓝宝石载板由于其耐等离子性和耐热性，被用于各种半导体制造设备部件。- 耐热性
- 耐等离子性
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蓝宝石晶圆舟由于其耐等离子性和耐热性，被用于各种半导体制造设备部件。- 耐热性
- 耐等离子性
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蓝宝石升降销由于其耐等离子性和耐热性，被用于各种半导体制造设备部件。- 耐热性
- 耐等离子性
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用于等离子体产生和引入的蓝宝石管由于其耐等离子性和耐热性，被用于各种半导体制造设备部件。- 耐热性
- 耐等离子性
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气密端子（多针端子）我们提供各种采用陶瓷金属连接技术的标准多针连接器。- 气密性
- 连接技术
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气密端子（同轴端子）我们提供各种采用陶瓷金属结合技术的标准同轴连接器。- 气密性
- 连接技术
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绝缘接头（绝缘法兰）绝缘法兰支撑LHD大型螺旋装置进行“聚变实验”。- 气密性
- 连接技术
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电流引入端子（馈通）我们提供在陶瓷金属结合部件中最广泛使用的电流引入端子。- 气密性
- 连接技术
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真空密封金属化密封蓝宝石窗口我们提供非常适合超高真空的蓝宝石窗口片。- 气密性
- 连接技术
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D-sub陶瓷真空密封端子（钎焊连接产品）由陶瓷制成的 D-sub 真空密封端子，可用于超高真空应用- 绝缘性
- 气密性
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特殊钎焊接头（铝金属配件/非磁性金属）可钎焊至铝配件和非磁性金属- 高导热率
- 绝缘性
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与液氢兼容的钎焊结合产品可在-253℃液氢环境下使用的钎焊接头- 绝缘性
- 气密性
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陶瓷绝缘管（金属化管）我们稳定供应具有高绝缘强度的金属化陶瓷部件。- 绝缘性
- 气密性
