特长
- 可制作氧化铝、蓝宝石一体化的复杂形状的产品
- 不使用粘合剂，维持陶瓷所具有的优异的耐热性、耐药性、耐等离子性
- 结合界面一体化的构造，确保高气密性和机械强度
Case 1
具备优异的耐等离子体性、耐腐蚀性的透明体（蓝宝石+蓝宝石）
由于不使用粘合剂的蓝宝石一体结合，即使在等离子环境下和暴露于药品的严酷环境下，也能维持蓝宝石所具有的优异的耐等离子性/耐药性/耐热性/机械强度。
另外，因为看不到结合面，需要透射性的地方也能使用。
形状示例
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等离子体发生管
(尺寸：φ100mm)
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流动池
(尺寸：30×25mm)
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侧面照片
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切面图 A-A'
结合部
蓝宝石的耐腐蚀性
与石英和氧化铝相比，浸泡在药品中时的减少量被抑制得极小。
表示在各药品中浸泡1天后的每1克的减少量的图表
在药品中浸泡时的减少量
测定条件
1 x 1 x 0.02 (英寸)
蓝宝石片浸泡6天
| HCl | :35% 20℃ |
| HNO3 | :50% 20℃ |
| HF | :46% 60℃ |
| HF/HNO3 | :40/10% 60℃ |
| H3PO4 | :60% 100℃ |
| H2SO4 | :95% 95℃ |
| NaOH | :30% 100℃ |
蓝宝石的耐等离子性
在氟类气体和氯类气体的等离子环境下，都具有高耐久性。※用研磨表面测定
氟类气体（SF6）等离子环境下的蚀刻量
测定条件
| 装置 | 磁控型RIE装置 |
| 圧力 | 25mTorr |
| 气体流量 | 50sccm |
| RF 输出 | 600W |
| 磁力 | 150gauss |
| Vdc | 210V |
| 时间 | 1时间 |
氯气(Cl2) 等离子环境下的蚀刻量
测定条件
| 装置 | 磁控型RIE装置 |
| 圧力 | 25mTorr |
| 气体流量 | 50sccm |
| RF 输出 | 600W |
| 磁力 | 150gauss |
| Vdc | 270V |
| 时间 | 1时间 |
蓝宝石的透射特性
在广泛的波长范围内具有稳定的透射率。
本页记载的数值全部是公司内部测定的代表值，不是产品规格的保证值。