通过引进大型设备，对炉内结构进行改良，充分利用京瓷近50年积累的单结晶蓝宝石制造技术，实现了大型蓝宝石的材料培育和磨削、精加工。
特长
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超大型产品的制造可提供最大尺寸500 mm （a面）的方形产品和最大尺寸200 mm （c面）的圆板状产品※详情看下方设计指南
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从培育到产品化的应对不仅拥有大型蓝宝石的材料培育，还拥有应对磨削、精加工的大型设备和技术，可应对大型蓝宝石的产品化
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精密的加工技术即使是大型产品，也可以管控公差±0.1°的面方位※面方位误差是部分测量。
设计指南
各产品的最大尺寸
〔单位 mm〕
| 角板状制品 | |||
|---|---|---|---|
| 面方位 | a面 | c面 | r面 |
| 外边 | □500 | □200 | □500 |
| 厚度 | 5 | 10 | 5 |
方形产品示例
〔单位 mm〕
| 圆板状产品 | |||
|---|---|---|---|
| 面方位 | a面 | c面 | r面 |
| 直径 | Φ500 | Φ200 | Φ500 |
| 厚度 | 10 | 10 | 10 |
圆板状产品示例
加工对应
在上述尺寸内，也能够对应全面磨削加工及单面·双面镜面加工，以及圆环形状·复杂形状品。
※关于各形状的加工可能的尺寸，请与我们商谈。
面方位控制
误差：±0.1°
面方位： a面、c面、r面
※面方位误差是部分测量。
※关于其他方向，请咨询。
晶片标准规范
尺寸
〔单位 mm〕
| 尺寸(inch) | 直径 | 厚度 | 奥利夫拉长 |
|---|---|---|---|
| 2 | Φ50.8±0.25 | (无指定)±0.025 | 16±3 |
| 3 | Φ76.2±0.25 | (无指定)±0.025 | 22±3 |
| 4 | Φ100±0.25 | (无指定)±0.025 | 32.5±3 |
| 5 | Φ125±0.25 | (无指定)±0.025 | 42.5±3 |
| 6 | Φ150±0.25 | (无指定)±0.025 | 57.5±3 |
| 8 | Φ200±0.25 | (无指定)±0.025 | 57.5±3 |
形状：支持SEMI标准，也可以是四边形
晶体取向：c面/a面/r面/m面等。也可以偏离角度
精加工
| 表面粗糙度(Ra) | 精加工 | 研磨 |
|---|---|---|
| 表面 | ≦1.2㎛ | ≦0.3nm |
| 背面 | ≦1.2㎛ | ≦0.3nm |
※数值是参考值，不是保证值。
※关于上述以外的形状·规格也请随意商谈。
蓝宝石晶片
加工示例
x线衍射装置管理面方位对应了Φ450 mm尺寸的大型板块（左），内部机加工中的大型圆环（照片中央）、使用CMP进行镜面加工的成膜用基板（图右）等的实际加工经验。
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大型板（全面磨削加工）
Φ450×5T(mm)
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大型圆环（圆环形状加工）
Φ320×φ300×7T(ｍｍ)
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成膜用底板（双面镜面加工）
Φ200×0.725T(ｍｍ)
加工工程
以下介绍一个大型单结晶蓝宝石产品加工工艺和设备的案例。
京瓷拥有大型产品的专用设备，并利用这些设备的技术能力，按照客户的要求制造产品。
本页记载的数值全部是公司内部测定的代表值，不是产品规格的保证值。