氧化铝多层扩散结合

氧化铝多层扩散结合是指，不使用粘合剂，将加工得很薄的氧化铝产品层层重叠，使其一体化的结合技术。利用该技术，在氧化铝零件上分别形成不同的流道图案并进行扩散结合，可以制作出内部具有流道的液体混合零件，还可以制作出陶瓷一体化难以加工的复杂外形产品。另外，由于烧制后的瓷器之间的结合，可以避免因烧制造成的瓷器收缩影响，实现比毛坯结合更高的尺寸精度（公差范围10μm开始可对应※根据形状）。

特长

• 很少产生杂质和颗粒

  因为不使用粘合剂，从结合面抑制杂质和颗粒的产生。
• 高耐热性

  因为不使用粘合剂，可以发挥陶瓷本来具有的高耐热性※因为根据使用条件结果不同，详细请咨询。
• 可以实现内部流道和复杂的外形

  通过集成多个氧化铝部件，可以形成内部流道和复杂的外形形状。
• 高气密性

  通过扩散结合技术，在He泄漏测试中可满足10^-9 Pa・m³/s以下的高真空度要求

结合示例

结合前

在各部件上形成流道图案

结合后

从背面透光的状态

• 通过X射线CT分析确认内部没有缺陷。
• He泄漏测试确认10^-9 Pa・m³/s以下。
• 最多有95张结合业绩。

应用案例

内部流道的形成

通过扩散结合形成流道图案的各氧化铝零件，可以形成内部流道。
例：液体混合用零件

外形形状的形成

利用层叠技术，可以制作出不能加工的复杂的外形形状的一体化产品。