应用案例 APPLICATIONS

下面是针对各种先进技术的应用案例。

• IoT / 5G

  

  ・防止摄像头水汽

  等

• 半导体相关

  

  ・静电卡盘(ESC)

  ・Stepper(曝光装置)

  等

• 科学/医疗

  

  ・电子显微镜(SEM)

  ・色谱/质量分析仪(MS)

  ・DNA分析仪

  等

• 环境·能源

  

  ・智能马桶盖

  ・卷发棒

  ・除臭器(臭氧)

  ・煤油暖风机

  ・电烙铁

  等

• 车载

  

  ・EV车暖气

  ・气体传感器

  ・恒温器

  等

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  应用案例：半导体相关 静电卡盘

  

  在半导体制造中，晶圆的吸附固定/温度控制使用氧化铝制静电卡盘(ESC)。由于半导体制造工艺需要非常精密的尺寸/温度控制，京瓷自主开发的线路模拟和切割技术尽可能地抑制了尺寸和表面温度分布的差异，为高品质的半导体制造做出了贡献。

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  应用案例：环境·能源 智能马桶盖

  

  智能马桶盖中的水加热的加热器是使用京瓷生产的氧化铝加热器。由于升温速度快，无需预热，有助于节省空间和降低功耗。此外，氧化铝加热器的高功率密集，还有助于实现加热单元的小型化

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  应用案例：车载 气体传感器

  

  气体传感器中，为了实现传感器功能活化，有使用高温加热的加热器。在车载应用方面， 京瓷的氧化铝加热器的高耐久性和快速升温的特性有助于提升传感器的可靠性/缩短启动时间，被采用到排气检测的氧浓度传感器中，是车载加热器。

上述以外的用途，
也欢迎垂询。