陶瓷材料
氮化铝 AlN
具有高导热性和电绝缘性能的材料
氮化铝具有高导热性和电绝缘性，用于散热和均热部件，包括半导体制造设备部件。
- 重要特征：
- 导热性
- 耐磨性
特性
这些值是基于试件测量的参考值。特性值可能因产品形状和使用条件而异。
(注1)表观密度和堆积密度均为所列值。然而，对于多孔材料，它是堆积密度值。
(注1)表观密度和堆积密度均为所列值。然而，对于多孔材料，它是堆积密度值。
产品实例
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半导体制造设备用陶瓷加热器高纯度、优异的耐等离子性和热均匀性。- 高导热率
- 耐等离子性
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静电吸盘它纯度高，具有出色的耐等离子体性和附着/分离响应，并且兼容较宽的温度范围。- 耐等离子性
