陶瓷材料
堇青石 2MgO·2Al2O3·5SiO2
这种材料具有极低的热膨胀系数，并且受温度变化而表现出很小的尺寸变化
堇青石具有非常小的热膨胀系数和比玻璃基材料更高的比刚度。利用其特性，用于半导体制造设备的结构部件。由于其光滑度高，还可用作镜子，因此在天文学和太空领域中用于组装多个堇青石部件来观察各种波长的光，并将其应用于利用光的通信中作为光学器件来使用。
- 重要特征：
- 热膨胀系数
- 抗热震性
特性
这些值是基于试件测量的参考值。特性值可能因产品形状和使用条件而异。
(注1)表观密度和堆积密度均为所列值。然而，对于多孔材料，它是堆积密度值。
(注1)表观密度和堆积密度均为所列值。然而，对于多孔材料，它是堆积密度值。
产品实例
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低热膨胀陶瓷镜高刚性使其更薄、更轻。- 高刚度
- 低热膨胀
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真空吸盘、载物台一体镜、载物台零件搬运部件输送部件纯度高，耐腐蚀性优异。根据使用条件，可以形成各种表面形状。- 高刚度
- 高精准度
