陶瓷材料
氧化钇 Y2O3
一种在等离子体环境下具有优异耐腐蚀性的材料
氧化钇是一种具有优异耐等离子体性的材料。它可以有效减少半导体制造设备等使用等离子体的制造过程中零件所需的颗粒和杂质污染。
- 重要特征：
- 耐等离子性
- 耐腐蚀性能
特性
这些值是基于试件测量的参考值。特性值可能因产品形状和使用条件而异。
(注1)表观密度和堆积密度均为所列值。然而，对于多孔材料，它是堆积密度值。
(注1)表观密度和堆积密度均为所列值。然而，对于多孔材料，它是堆积密度值。
产品实例
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耐等离子材料其高纯度和出色的耐等离子性有助于延长部件的使用寿命。- 耐等离子性
- 低介电损耗
