陶瓷材料
氧化钇 Y2O3
一种在等离子体环境下具有优异耐腐蚀性的材料
氧化钇是一种具有优异耐等离子体性的材料。它可以有效减少半导体制造设备等使用等离子体的制造过程中零件所需的颗粒和杂质污染。
- 重要特征：
- 耐等离子性
- 耐腐蚀性能
特性
产品实例
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耐等离子材料其高纯度和出色的耐等离子性有助于延长部件的使用寿命。- 耐等离子性
- 低介电损耗
氧化钇是一种具有优异耐等离子体性的材料。它可以有效减少半导体制造设备等使用等离子体的制造过程中零件所需的颗粒和杂质污染。