陶瓷材料
单结晶YAG Y3Al5O12
具有优异的耐等离子体性和透光性的材料
单结晶YAG是一种具有单结晶蓝宝石的机械性能和化学稳定性，同时还具有优异的耐等离子性的材料。相对于同样具有良好耐等离子性的白色氧化钇，由于单结晶YAG是透明的，透光性高，另外与多结晶体的氧化钇相比，单结晶的YAG在等离子体气体环境中具有更高的耐久性，因此也具有减少颗粒产生的特点。
- 重要特征：
- 耐等离子性
- 透光性
- 绝缘性
- 耐腐蚀性
- 高刚度
特征
耐等离子性
按蚀刻量比较
*这些数值是基于内部测量的参考值。
*各类等离子气体的处理时间为4小时。
按表面状况比较
*这些数值是基于内部测量的参考值。
*等离子蚀刻条件为CF4气体，处理时间为4小时。
透光性
从紫外区到可见光以外的广泛范围内具有高透光性。
*这些数值是基于内部测量的参考值。特性值可能因产品形状和使用条件有差异。
形状
对应尺寸
视窗/板状/其他
棒状，管状
用途示例
它比单结晶蓝宝石具有更好的等离子体耐受性，产生的颗粒更少，通常主要用于半导体制造工艺。
特性
产品实例
-
耐等离子材料其高纯度和出色的耐等离子性有助于延长部件的使用寿命。- 耐等离子性
- 低介电损耗
