半导体零部件
薄膜MIC基板
高纯度(99.6%)氧化铝基板- 京瓷的微波集成电路（MIC）基板的特点是在高纯度（99.6%）氧化铝或高介电常数陶瓷材料上进行薄膜线路加工。
备注：材料特性所列举的数值为典型值。
数值会随着材料/工艺的进一步改进或修正发生变化
■薄膜电阻
| 电阻材料 | Ta2N |
| 方阻（Ω/SQ） | 10 to 100 |
| 阻值温度系数（ppm/K）-25℃到85℃ | -100+/-20 |
| 无公差修整 | +/-20% |
| 有公差修整 | +/-3% |
| 长期可靠性 高温放置（125℃，1000小时）后的阻值变化 |
0.4% max. |
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